晶圆级封装电镀(TSV、Bump、RDL 、Damascene 、DIG)

功能配置 Functions and Configuration

•PLP,TSV,PKG PCB Panel 型电镀设备

•电镀液流量控制 ( Flow / Paddle Control)

•阻挡层最优化

•电场控制技术(Shield 设计,Anode / Contactor )

•改善真空前处理工程(确保亲水性)

•独有专利技术 CUP CELL, Fountaing Type 实现高效稳定生产

•可服务于 4°16”/8”12”尺寸晶圆

•可根据产能、布局等定制化设备

•可实现设备间数据互联,精细化追溯及品质监控

•使用不溶性阳极 (Ti+lr、Ti+Pt)可长期在酸腐蚀环境作业,坚固耐用,密封性优良

•Application: Fan Out, EMIB, EWLB, TSV,RDL, Damascene,FCCSP,FCBGA 等


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