精密电镀工艺

Products & solutions

六大产品体系
覆盖精密湿制程

从 TGV 中试验证到晶圆级封装、超精细 PCB 与 COF 薄膜 RTR,按材料、产能与场地需求定制交付。

Product portfolio

产品服务

围绕材料、精度、产能与场地需求提供设备及工艺解决方案。

Business fields

商业领域

覆盖半导体先进封装、高端 PCB 与显示面板相关精密湿制程。

TGV 玻璃基板电镀 晶圆级封装电镀 PKG PCB 电镀及相关工艺 垂直非接触式工艺 预处理、显影、蚀刻、剥离与表面处理 FPD 显示工艺(LCD、OLED、柔性显示) 各种规模试线设备定制
TGV电镀中试标准机
01 / PILOT SYSTEM

TGV 电镀中试标准机

适用于 8 寸及 200×200mm 以下玻璃基板,以模块化配置降低前期投入,加速中试验证与量产导入。

  • 低成本快速转型模块化设计与优化配置,以小投入快速切入市场。
  • 中试验证量产可行模拟工业级量产条件,为规模化生产提供可靠数据。
  • 精密可控确保镀层质量与均匀性,适配多种电镀液并减少液耗。
  • 便捷高效支持参数快速调整与工艺优化,降低试错成本。
TGV玻璃基板电镀
02 / TGV

TGV 玻璃基板电镀

面向 Interposer、Mini/Micro LED 的玻璃基板通孔电镀,工艺精细度可达 5μm。

  • 高速 Paddle 流量检测,减少镀层厚度偏差
  • 超密屏蔽层与 10CH 分区阳极电源管理控制电场
  • 酸处理与真空预处理,保障产品亲水性
  • 单板自动化 50 张/小时,兼顾效率与产能
  • 可按 TGV 尺寸、厚度、产量与布局定制
  • 支持手动或全自动的一次性完整工艺
晶圆级封装电镀
03 / WLP · PLP

晶圆级封装电镀

覆盖 TSV、Bump、RDL、Damascene、DIG 以及 Fan Out、EMIB、EWLB、FCCSP、FCBGA 等应用。

  • PLP、TSV、PKG PCB Panel 型电镀设备
  • Flow / Paddle 流量控制、阻挡层优化与电场控制
  • 真空前处理确保亲水性
  • 专利 CUP CELL、Fountain Type 工艺
  • 支持 4、8、12 寸晶圆,可按产能和布局定制
  • 支持设备数据互联、品质追溯与监控
  • 不溶性阳极适应长期酸腐蚀环境
超精细PCB电镀
04 / FPCB · PCB

超精细 PCB 电镀

面向 FC CSP、FC BGA、EMIB 等应用,可实现 L/S 5×5μm 以下微间距光刻工艺。

  • 垂直非接触式显影、蚀刻、剥离、预处理多模块设计
  • 支持 PT/PN 镀铜、除胶、ENIG、ENEPIG
  • 按 PCB 尺寸、厚度与布局定制
  • 耐酸腐蚀结构,坚固耐用且密封性优良
  • 设备互联、精细追溯与品质监控
  • 智能运行系统简化操作并节省人力
COF薄膜RTR
05 / ROLL TO ROLL

COF 薄膜 RTR(单面/双面)

用于 FPCB、RTR、PKG 与 Fine Pitch 高集成度、细间距图案的显影、蚀刻及剥离。

  • Roll to Roll 型 PKG PCB、FPCB 非接触式制程
  • 热压合连接 IC 金凸块与软性基板内引脚
  • 上下压板保护 30μm 超薄板电路表面
  • 至少可减少 1.5mm 下边框宽度
  • 按工艺、产能与布局定制,配备智能运行系统
  • 应用于 FPCB、Roll to Roll PKG PCB、显示面板与 PCB 主板
电镀工艺前后端设备
06 / WET PROCESS

电镀工艺前后端设备

测试线集成型湿制程 DES 系统,以紧凑、模块化结构连接前后端工艺。

  • 模块化结构满足不同工艺需求
  • 紧凑体积降低场地限制
  • 具备同类设备交付业绩
  • 垂直工艺提升制造良率
  • 与海世高前后端设备保持高配合度
  • 可定制各种规模试线设备

Delivery process

从需求到交付

需求分析、方案设计、打样验证、批量交付与售后支持,形成完整服务闭环。

01 需求分析02 方案设计03 打样验证04 批量交付05 售后支持